SUEP 法是,用微蝕銅箔板的簡便的方法製造任意厚度且表面均勻的極薄銅箔系統。由 SUEP 法加工成 3μm厚銅箔板,從而實現製造L/S=30/30μm的電路板的可能性 。
■ SUEP 法的構成
★微蝕液 :Clean Etching